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        光電輪廓儀 WGL
      測量儀器 >> 測量儀器 >> 光電輪廓儀

      產品名稱:光電輪廓儀
      產品型號:WGL

      詢購熱線: 021-65730171

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      本儀器采用非接觸、光學相移干涉測量方法,測量時不損傷工作表面,能快速測得各種工作表面微觀形貌的立體圖形,并分析計算出測量結果。適用于測量各種量塊、光學零件表面的粗糙度;標尺、度盤的刻線深度;光柵槽形結構;鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌;磁(光)盤、磁頭表面結構測量;硅片表面粗糙度及圖形結構測量等。儀器測量精度高,重復性好,具有非接觸和三維測量的特點,并采用計算機控制和快速分析、計算測量結果。本儀器適用于各級測量、計算研究單位,工礦企業計量室,精密加工車間,也適用于高等院校和科學研究單位。

       

      技術參數

      表面微觀不平深度測量范圍:1000nm~1nm

      測量的重復性:δRa0.5nm

      測量精度:8nm

      物鏡倍率:40×

      數值孔徑:0.65

      儀器視場:目視φ0.25mm;攝像0.13×0.13mm

      儀器放大倍數:目視500×;攝像(計算機屏幕觀察):2500×

      接收器測量陣列:1000×1000

      像數尺寸:5.2×5.2μm

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